高精度和准确度测量
三坐标测量机及定位设备
圣戈班高性能陶瓷和耐火材料一直是用于测量应用的定制形状碳化硅组件的领先供应商。
其中包括用于三坐标测量机z轴和桥架的横梁，以及用于运动控制设备的空气轴承阶段的板。
常见问题解答
定位设备如何利用碳化硅陶瓷?
碳化硅板是定位设备中使用的空气轴承工作台的极好选择，特别是在半导体晶圆检测中，建议确保硅片的热膨胀与碳化硅工作台之间的密切匹配。
碳化硅的性能与氧化铝的性能相比如何?
与氧化铝相比，碳化硅是一种较轻的材料，具有较低的热膨胀率，较高的导热系数和较高的比刚度。
为什么计量设备设计人员要选择碳化硅作为结构部件?
用碳化硅制成的结构部件，如z轴、桥架和支撑柱更轻，可以更快地移动，并增加适应温度变化的能力。
